Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Романов, М. С.
    Осаждение покрытия TIN в скрещенных ExB полях с вакуумно-дуговым источником плазмы [Текст] / М.С. Романов, О.О. Баранов, А.А. Бучака // Вісті академії інженерних наук України.Спец.випуск.Машинобудування та прогресивні технології. — К., 2006. — С. 266-270.


- Анотація:

Исследована система со скрещенными магнитным и электрическим полями и вакуумно-дуговым источником плазмы для ионного осаждения и низковольтной ионной имплантации. Использование скрещенных ExB полей обеспечивает интенсивнуюионизацию газа и сдерживает расширение дебаевского слоя.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • Праці співробітників ХАІ // Баранов О.О./Baranov O.
  • УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
  • УДК // Плазма (та коливання плазми) відповідно до стану/Различные состояния плазмы (и колебания плазмы)/Various conditions of plasma (and plasma fluctuations)
  • Праці співробітників ХАІ // Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ
  • Праці співробітників ХАІ // Романов М.С./Romanov M.



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт