Рассмотрены тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы датчиков давления, экспериментальные и теоретические методы изучения и результаты оценки параметров морфологии поверхностей пленок. Разработаны модель и алгоритм роста тонких пленок, учитывающие диффузию частиц.

Измерительная техника [Текст] : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — М.

• УДК // Вимірювання геометричних та механічних величин: вимірювальні прилади, методи та одиниці вимірювання
• УДК // Нанотехнологія
• УДК // Спеціальна геометрія і взаємодія з частинками та випромінюванням
• УДК // Стохастична апроксимація. Методи Монте-Карло
• УДК // Фізика конденсованої матерії. Фізика твердого тіла