Зведений каталог бібліотек Харкова
Григорьев, С. Н. Осаждение металлических и нитридных покрытий на изделиях сложной геометрической формы [Текст] / С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, А.С. Метель та ін. // Упрочняющие технологии и покрытия : научно-технический и производственный журнал. — М. : Машиностроение, 2012. — С. 44-48.
Автор: Григорьев С.Н., Волосова М.А., Метель А.С., Мельник Ю.А., Болбуков В.П.
- Анотація:
Показано, что для осаждения покрытий на диэлектрики используется источник атомов металла в смеси с быстрыми молекулами газа, образованными при перезарядке ускоренных ионов в рабочей камере. Атомы металла образуются при распылении ионами мишени на дне полого катода внутри источника. Нитридные покрытия, непрерывно бомбардируемые молекулами с энергией, регулируемой от 10 до 300 эВ, при использовании смеси аргона с азотом осаждаются со скоростью до 4 мкм/ч.
- Є складовою частиною документа:
Упрочняющие технологии и покрытия [Текст] : научно-технический и производственный журнал // Упрочняющие технологии и покрытия - М. : Машиностроение , 2006. — М. : Машиностроение, 2012.
- Теми документа
