|
Автор: Хлюстов П.М., Степанов М.В., Егоров С.Д., Путилин А.Б., Мазур С.Н., Лазутина Е.А., Коротеев А.В.
-
Анотація:
Многокластерная нанотехнологическая установка (МКНТУ) создается для производства и исследования топологий структур микроэлементов. В МКНТУ реализуются принципы ГПС - гибких производственных систем, построенных на основе технологических модулей с ЧПУ - числовым программным управлением.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
-
УДК // Нанотехнологія
| 