Рассмотрена возможность получения наноструктур в поверхностном слое детали при действии электронов различных энергий. Рассчитаны поля температур в зоне действия, группы электронов разных энергий, поля температурных напряжений и, с учетом критериев: достижения достаточных температур, скоростей роста температур и давлений (величин температурных напряжений), показана возможность получения наноструктур.