Разработана методика для оценки температуры и температурных напряжений в зоне действия ряда индивидуальных ионов, как мгновенных источников тепла, действующих на глубине, равной половине длины свободного пробега. Показана, что есть возможность реализации определенных температур, скоростей их нарастания и необходимых температурных напряжений для получения наноструктур.