Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Баранов, О. О.
    Эффективная ионная очистка в разряде планарного магнетрона со структурой полого катода [Текст] / О.О. Баранов, М.С. Романов // Вопросы проектирования и производства конструкций летательных аппаратов : сб. науч. тр.: спец. вып. / Нац. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т". — Х. : Нац. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т", 2010. — С. 50-57.


- Анотація:

Исследована возможность эффективной ионной очистки поверхности подложки-катода в разряде планарного магнетрона. Показано, что использование соленоида, размещенного под катодом со структурой полого катода, позволяет получить планарное магнетронное распылительное устройство с зоной распыления, занимающей до 93% поверхности дисковой части подложки - катода.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • Праці співробітників ХАІ // Баранов О.О./Baranov O.
  • УДК // Магнетрони
  • Праці співробітників ХАІ // Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ
  • Праці співробітників ХАІ // Романов М.С./Romanov M.



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт