Зведений каталог бібліотек Харкова
Васин, В. А. Отечественное оборудование для микро- и нанотехнологий и перспективы его развития [Текст] / В.А. Васин, Н.Г. Фатьянова, Б.Н. Васичев, С.В. Степанчиков // . — С. 37-43.
- Анотація:
В статье рассмотрены вопросы создания и эксплуатации оборудования для производства и исследования объектов нанотехнологий.На примере отечественных разработок показана сложность, наукоемкость и надежность современного прецизионного оборудования для микро- и нанотехнологий. Ключевые слова: микро- и нанотехнологии; нанообъект; надежность; микросистемная техника; электронно- и ионно-зон-довое оборудование; электронно-лучевые системы.
- Є складовою частиною документа:
Справочник. Инженерный журнал. [Текст] // Справочник. Инженерный журнал ; Выходит при содействии Международного Союза машиностроителей. - М. : Машиностроение. — 2013.
- Теми документа
