Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Баранов, О. О.
    Взаимодействие потока плазмы вакуумно-дугового источника с магнитным полем планарного магнетрона [Текст] / О.О. Баранов // Вісті академії інженерних наук України.Спец.випуск.Машинобудування та прогресивні технології. — К., 2009. — С. 233-237.


- Анотація:

Исследовано влияние магнитного поля планарного магнетрона на распределение ионного тока по подложке в установке для вакуумно-дугового метода осаждения покрытия, для двух конфигураций магнитного поля в зависимости от потенциала смещения подложки и давления газа.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • Праці співробітників ХАІ // Баранов О.О./Baranov O.
  • УДК // Магнетрони
  • Праці співробітників ХАІ // Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт