Рассмотрены различные законы распределения ионов различных сортов, энергий и зарядности, для которых получены коэффициенты заполнения различных поверхностей на разных глубинах, найдены законы распределения, обеспечивающие наиболее полное заполнение поверхностей полями температур и температурных напряжений.