Разработана математическая модель комплексного модифицирования поверхности легированной стали. Рассмотрено моделирование процессов диффузии при ионно-плазменном азотировании. Математическая модель процесса азотирования позволяет связать основные технологические параметры со структурой, фазовым составом и толщиной азотированного слоя.