Решалась совместная задача теплопроводности и термоупругости, в результате решения которой по предложенным критериям получения наноструктур (НС): по диапазону температур, скоростей их нарастания и величин температурных напряжений определялись зоны материала, где в объеме детали рассчитанные значения температур, скоростей их нарастания и температурных напряжений обеспечивают получение наноструктур. На основе приведенных результатов расчетов зависимостей размера зерна, объема нанокластера и глубин его залегания, числа частиц в нанокластере от энергии, сорта и заряда иона, а также обобщения зависимостей физико-механических характеристик наноструктур от размера зерна показана возможность выбора технологических и физических параметров потоков ионов для достижения требуемых физико-механических характеристик НС, толщины слоя и размера зерна. Ключевые слова: наноструктуры, размер зерна, ионы, толщина.