Рассмотрены метод и устройство измерения концентрации озона в озоновоздушной смеси на основе изменения сопротивления чувствительного элемента металлооксидных сенсоров MQ131 с учетом влажности и температуры среды. Предложена общая регрессионная зависимость, учитывающая совместное влияние температуры и влажности, а также концентрации озона на сопротивление чувствительного полупроводникового слоя сенсоров. Разработан экспериментальный измеритель концентрации (озонометр) с блоком компенсации, учитывающим совместное влияние температуры и влажности озоно-воздушной среды. Приведены результаты испытаний разработанного озонометра и сопоставление данных с йодометрическими и стандартными приборными измерениями с помощью поверочного озонометра на основе спектрофотометрического метода. Проведена йодометрическая и приборная градуировки озонометра, предложена регрессионная зависимость, описывающая связь напряжения на выходе сенсора с концентрацией озона.
