Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Али, М.
    Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния и отражения света одноосным двумерным кристаллом [Текст] / М. Али, А.П. Кирьянов // Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана.Сер. Приборостроение : научно-теоретический и прикладной журнал. — 1998. — 4 : Специальный выпуск "Радиоэлектроника". — С. 38-52.


- Анотація:

Представлены впервые разработанные оптическая схема и принцип действия устройства, собранного как единая комбинация одновременно функционирующих холоэллипсометров in situ рассеяния и отражения поляризованного света образцом оптически одноосного двумерного кристалла в направлениях, близких к нормальному для образца. Представлены основные уравнения метода холоэллипсометрии, реализуемого адекватно с помощью приведенного устройства. Полученные в данной работе результаты существенно отличаются от известных в практике поляризационных измерений рассеяния света тем, что здесь впервые представлена возможность одновременного измерения в реальном времени не отношения модулей, а самих модулей комплексных амплитудных коэффициентов рассеяния и (а не или) отражения света в направлениях, близких к нормальному для исследуемого образца из оптически одноосного прозрачного двумерного кристалла, а также дополнительно и разности фаз для этих же комплексных амплитудных коэффициентов рассеяния и отражения света. Такая возможность одновременного измерения не двух, а шести экспериментальных параметров позволяет существенно повысить диагностические способности эллипсометрии как основы мониторинга создания и обработки двумерных наноструктурных образований.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
  • УДК // Поляризація



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт