В настоящее время одним из основных препятствий на пути повышения точности МЭМС-гироскопов является квадратурная погрешность, основной причиной возникновения которой является искажение геометрии упругого подвеса в процессе его изготовления. Рассмотрены двухкоординатный гибридный МЭМС-гироскоп R-R-R-типа и причины возникновения искажений формы поперечного сечения упругого подвеса, приводящие к возникновению паразитных колебаний маятника по измерительным осям. Предложен способ компенсации нулевого сигнала, вызванного квадратурной погрешностью, путем изменения формы магнитного поля в рабочих зазорах датчиков момента. Проведен выбор геометрии профиля элементов магнитопровода, отвечающих за форму поля в зазорах, в целях повышения эффективности метода. Оценена эффективность предложенного метода и сделаны выводы о возможности его применения.
