Теоретически изучается влияние эволюции микроскопического рельефа поверхности в процессе воздействия различных разрушающих факторов на их механизм и интенсивность разрушения. Основное внимание уделено распылению поверхности при бомбардировке медленными атомами. Указаны особенности применения полученных уравнений как при интенсивном нагреве поверхности (сублимация), так и при совместном воздействии высокой температуры и атомной бомбардировки (температурно-стимулированное распыление). Показана правомерность использования анализа модели послойного распыления с учетом атомных ступенек на поверхности и изолированных пятен, принадлежащим другим атомным слоям. Ключевые слова: микроскопический рельеф поверхности, теория распыления медленными атомами.
