Методом магнетронного напыления при постоянном токе на стальную подложку SUS 304 наносили нитрид титановые пленки. Детально исследовано влияние отжига после нанесения пленок на микроструктуру и их механические свойства с помощью метода атомно-силовой микроскопии, стабилизатора напряжения и наноидентирования.
