Приведены результаты изучения дефектов, возникающих в объеме диэлектрических пленок и границе их раздела с кремнием при воздействии плазмы низковольтного пеннинговского раздела в процессе формирования пленок.

Радиотехнические системы и устройства [Текст] : сб. науч. тр. / Гос. ком. СССР по народ. образованию, Харьк. авиац. ин-т им. Н.Е. Жуковского. — Х. : ХАИ, 1988. — 156 с.

• Праці співробітників ХАІ // Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ
• УДК // Транзистори
• Праці співробітників ХАІ // Федоренко В.I./Федоренко В.И.