Раздельное решение задач контроля, диагностирования и парирования дефектов не позволяет получать эффективные решения. В связи с этим вводятся модели и методы, которые позволяют совмещать решение этих задач в единый теоретически и интуитивно обозримый процесс. В статье предложен новый вид моделей процессов функционирования СЧМС и метод уточнения и расширения таких моделей. Моделью процесса функционирования полагается последовательность бинарных отношений, в которой каждая часть процесса представлена бинарным отношением, связывающим значения показателей свойств процессов и изменения значений показателей.