Приведены результаты изучения конденсации капельной фазы вакуумно-дугового разряда в процессе ионной очистки поверхности образца. Оценены числа Вебера для микрокапель титана различной формы: они сохраняют сферическую форму при значении числа Вебера We < 0,03, имеют приплюснутую форму при 0,06 < We < 0,3 и форму "атолла" (кольцевую) при 0,3 < We < 0,9. Отмечено наличие микрокапель со слабой связью с поверхностью, что будет снижать адгезию формируемого покрытия к основе. Обнаружены микрокапли с зернистой структурой, имеющие средний размер зерна, в несколько раз меньший, чем у исходного материала катода. Предложено объяснение данного эффекта. Ключевые слова: вакуумно-дуговой разряд, ионно-плазменные технологии, ионная очистка, капельная фаза вакуумно-дугового разряда.
