Зведений каталог бібліотек Харкова

 

621.38
В14Блинов, И. Г.
    Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники [Текст] / М-во электронной пром-ти СССР. — М. : ЦНИИ "Электроника", 1974. — 85 с.


Автор: Блинов И.Г., Дороднов А.М., Минайчев В.Е., Мирошкин С.И., Мубояджян С.А., Помелов Я.А.

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
  • УДК // Розрідження повітря та газів. Повітряні насоси. Вакуумні насоси. Вакуумна техніка
  • УДК // Фізика плазми



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського 1 Перейти на сайт