Рассмотрено проведение топологической термокомпенсации термостатируемых элементов на основании применения эффекта минимальной статической погрешности регулирования температуры с целью минимизации температурной погрешности радиотехнических устройств. Проведено численное моделирование двухмерных нестационарных температурных полей термостабильной подложки гибридно-интегральных схем с учетом тепловыделений термостатируемых элементов и реальных механизмов теплообмена для пропорционального регулятора температуры. Ключевые слова: термокомпенсация; микротермостат; температурная погрешность