|
Автор: Лузанов В.А., Веденеев А.С., Козлов А.М., Николаев С.Н., Рыльков В.В., Темирязева М.П., Черноглазов К.Ю., Бугаев А.С.
-
Анотація:
Определены условия осаждения пленок магнетита (оксида железа) Fe3O4 на r-плоскости монокристаллического сапфира методом диодного высокочастотного реактивного распыления Fe-мишени: парциальное давление кислорода и скорость роста. Получены ферромагнитные слои, имеющие поликристаллическую структуру с характерным размером блоков 100... 200 нм. Методом рентгеноструктурного анализа установлено, что в блоках преобладает текстурированная фаза магнетита, ориентированная по нормали к подложке, а включения фаз Fe и/или Fe2O3 практически отсутствуют.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Одержання тонких плівок
-
УДК // Основні закони магнетизму
-
УДК // Физическая химия
|
