Разработана модель стационарного режима магнетронного разряда, позволяющая рассчитать вольтамперные характеристики. Предложен механизм поддержания разряда, согласно которому генерация плазмы в магнитном поле обусловлена действием высокоэнергетичных первичных электронов и электронов плазмы, а на параметры зоны ионизации влияют процессы ионного распыления посредством изменения концентрации атомов рабочего газа при баллистических столкновениях с распыленными атомами, последующей термализации и отвода тепла к стенкам вакуумной камеры. Для проверки адекватности модели проведен эксперимент по измерению вольтамперных характеристик разряда планарного магнетрона в диапазоне индукции магнитного поля 0,012 - 0,036 Т при давлении газа 0,7 - 1,7 Па, который показал, что расхождение между результатами расчета и данными эксперимента не превышает 15 - 20 %.
