Представлены результаты исследования спектральных полос, появляющихся на поверхности деталей, подвергнутых ультра-звуковой упрочняющей обработке. Рентгеновской фотоэлектронной спектрометрией и атомно-силовой микроскопией показано, что толщина оксидной пленки, образующейся после ультразвуковой упрочняющей обработки, достаточна для того, чтобы да-вать яркую спектральную картину, и составляет 209 нм. Ключевые слова: ультразвуковая обработка, контроль, микрорельеф, оксидная пленка.