621.38 М62 Минаков, В. И.     Производство тонкопленочных микросхем [Текст] / учеб. пособие для подготовки рабочих на производстве. — Л. : Энергия, 1973. — 176 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського	3	Перейти на сайт