Использование набора из 8 светодиодов в многоканальном спектральном эллипсометре с бинарной модуляцией состояния поляризации позволило создать простой эллипсометр с полностью перекрывающимся диапазоном длин волн 350?810 нм и высокими техническими характеристиками. Воспроизводимость и стабильность измерений эллипсометрических параметров и ? 0.01° и 0.03° соответственно. Минимальное время измерения и в диапазоне длин волн 435?690 нм ? 0.5 с, в полном диапазоне длин волн 350?810 нм ? 5 с.

Приборы и техника эксперимента [Текст] : научный журнал / РАН. — М.

• УДК // Прилади для вимірювання оптичних властивостей. Оптичні прилади для визначення неоптичних властивостей