|
Автор: Гумаров Г.Г., Нуждин В.И., Петухов В.Ю., Валеев В.Ф., Файзрахманов И.А.
-
Анотація:
Описана конструкция многопозиционного высокотемпературного блока для приемника ионов ускорителя ИЛУ-3 с диапазоном работы до 1000°С. Устройство позволяет последовательно проводить имплантацию до четырех образцов при стабилизированной температуре без развакуумирования камеры ускорителя. Проведены расчеты температуры мишени в процессе имплантации, учитывающие контактный и радиационный теплообмен. Показано влияние условий и режимов имплантации на равновесную температуру мишени.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
| 