Приведены результаты исследований микро- и наноэлектромеханических резонаторов ГГц-диапазона. Проанализированы проблемы, связанные с разработкой теоретических моделей этих устройств, учитывающих влияние размерных факторов. Рассмотрены задачи детерминирования колебаний резонаторов для субнанометрового диапазона амплитуд. Проведена оценка применимости существующих технических средств в качестве вторичных измерительных преобразователей в МЭМ и НЭМ резонаторах.
