Разработан комплекс программ, позволяющий записывать сканы СВЧ спектра составного многомодового акустического резонатора (HBAR) с произвольным шагом по частоте во всем диапазоне измерителя S-параметров. Благодаря высокой степени автоматизации обработки сканов могут быть получены параметры (частота и ширина) каждого из нескольких тысяч резонансных пиков. Предлагаемый метод увеличивает точность ранее известного метода измерения скорости акустической волны в материале. Для слоев толщиной в несколько длин волн новый метод позволяет получать данные о скорости волны в исследуемом материале из одного снятого спектра и не требует сравнения спектров HBAR до и после нанесения исследуемого слоя.

Радиотехника и электроника [Текст] // Радиотехника и электроника ; Институт радиотехники и электроники РАН - М. : Наука. — 2015.

• УДК // Методи вимірювання. Вимірювальні прилади відповідно методу вимірювання