Исследованы практические перспективы реализации проекционной рентгеновской фотолитографической технологии на базе сочетания CO2-лазерной плазмы и многослойных рентгеновских отражателей для диапазона длин волн 3... 30 нм. Показано, что для устойчивой работы СО2-лазера мощностью несколько десятков киловатт необходимо использовать охлаждаемое окно из поликристаллического алмаза между активной средой и атмосферой. Даны практические рекомендации по созданию высокоотражающих многослойных покрытий для мягкого рентгеновского диапазона длин волн, основанные на расширении множества рассматриваемых материалов слоев.
