Проведенный анализ разработанной ранее модели расчета процентного содержания компонентов многокомпонентного покрытия позволил выделить один из определяющих факторов, влияющих на достоверность модели. Было проведено уточнение методики и достигнуто более полное соответствие теории и эксперимента. Проведен анализ преимуществ и недостатков факта «перепыления» катодов-мишеней.