Представлены результаты зондовых измерений локальных характеристик плазмы для инверсной магнетронной распылительной системы с газовым анодом, секционированными катодными узлами и осевыми потоками плазмы. На основании их анализа исследуемая распылительная система была отнесена к ускорителям холловского типа с протяжённой зоной ускорения. Показано, что в исследуемой распылительной системе зона генерации ионов и их ускорения на распыляемые катоды-мишени разделены, что позволяет проводить их независимое распыление.
