Рассмотрена модель структуры одноосевого микрооптоэлектромеханического (МОЭМ) преобразователя угловых скоростей. Воспринимающий элемент преобразователя представляет собой микроэлектронный механический элемент, работающий на основе оптического туннельного эффекта и использующий эффект Кориолиса для преобразования угловой скорости в перемещение специальной чувствительной структуры. Также рассчитано влияние силы Кориолиса на отклонение чувствительного элемента в зависимости от различных конструктивных факторов, выбран соответствующий пьезоматериал. Исследуются и сравниваются с предыдущим вариантом характеристики чувствительного элемента с дополнительной массой.

Вестник Московского Авиационного института [Текст] / Московский авиационный институт // Вестник Московского Авиационного института ; Московский авиационный институт - М. : МАИ. — М. : МАИ, 2012.

• УДК // Оптичні датчики (перетворювачі)