Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Коротенко, Д.
    Автоматизированная система управления вакуумным технологическим оборудованием [Текст] / Д. Коротенко // . — С. 96-102.


- Анотація:

Статья посвящена автоматизации вакуумного технологического оборудования серии Irida компании «ЭСТО-Вакуум», которое используется для напыления, травления и осаждения различных материалов. Описана концепция программного обеспечения, позволяющего масштабировать его практически для любого проекта АСУ ТП.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Автоматизовані системи управління підприємством ( АСУП )
  • УДК // Розрідження повітря та газів. Повітряні насоси. Вакуумні насоси. Вакуумна техніка



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт