Безмасляные спиральные вакуумные насосы все более широко используются в нанотехнологиях, микроэлектронике, медицине, фармацевтике и термоядерной энергетике. Откачные характеристики спирального насоса, как и любой другой бесконтактной машины, во многом зависят от обратных перетеканий газа между рабочими полостями. На величину перетеканий определяющее влияние оказывают радиальные и торцевые зазоры между подвижным и неподвижным элементами. На примере безмасляного спирального вакуумного насоса с быстротой действия 15 м3/ч рассмотрены тепловые деформации подвижного и неподвижного спиральных элементов, изготовленных из алюминиевого сплава. Исходными данными для расчета тепловых деформаций являются значения давлений и температур в каждой полости спирального вакуумного насоса, определяемые с помощью математической модели рабочего процесса, и температурные поля всех поверхностей рабочих элементов. Расчет проведен с помощью пакета ANSYS. Показано, что тепловые деформации спиральных элементов в 5-7 раз превышают силовые и являются ключевым фактором, влияющим на зазоры в спиральных вакуумных насосах. При радиальном зазоре 0,1 мм его изменение за счет тепловых деформаций может составлять до 25%.
