При нанесении тонкопленочных покрытий с использованием физического и химического осаждения из паровой фазы важной характеристикой процессов является равномерность наносимого покрытия по толщине. В процессе химического осаждения по-крытий методом финишного плазменного упрочнения – безвакуумного и бескамерного нанесения нанокомпозитных покрытий с применением жидких металлоорганических соединений и активации электродуговой плазмой контроль за толщиной наносимого покрытия может быть осуществлен с использованием получаемой информации об электрических характеристиках самих по-крытий в процессе их нанесения. Предложен неразрушающий метод контроля толщины и качества покрытий путем измерения их сопротивления с применением источника постоянного тока, а также с использованием более сложной измерительной схемы с дополнительным источником переменного тока, обеспечивающим определение компонентов комплексного сопротивления участка цепи, включающего покрытие. Ключевые слова: покрытие, осаждение, упрочнение, толщина покрытия, электрические характеристики.

Контроль.Диагностика [Текст] : журнал Российского общества по неразрушающему контролю и технической диагностике (РОНКТД) // Контроль. Диагностика - М. : Спектр. — М. : Машиностроение, 2015.

• УДК // Дефекти матеріалів та їх виявлення (контроль)
• УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація