Зведений каталог бібліотек Харкова
66Ж91Журавльов, О. Ю. Осадження гетероепітаксійних Si1-x-Gex структур газофазним, плазмохімічним і сублімаційним методами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.02.01 - матеріалознавство / Нац. акад. наук України, Ін-т монокристалів. — Х., 2015. — 20 с.
- Теми документа