Проанализированы условия, при которых находятся электроды в аномальном тлеющем разряде в скрещенных электрическом и магнит-ном полях. Исходя из рассмотренных условий, были выделены основ-ные тепловые потоки, влияющие на нагрев и отвод тепла от катода-мишени и подложки. Проведен их анализ и определение условий работы катода. Предложена численная модель определения температуры элек-тродов в аномальном тлеющем разряде в скрещенных электрическом и магнитном полях при давлениях 0,1…1,5 Па и величинах магнитной ин-дукции 0,01…0,05 Тл. Ключевые слова: тепловой поток, аномальный тлеющий разряд, уравнение теплопроводности, жидкостная модель плазмы.
