Представлены результаты сравнительного анализа корректности диагностик мощного ионного пучка по амплитуде импульса плотности ионного тока и по плотности энергии. Показано, что при воздействии импульсного ионного пучка наносекундной длительности основным фактором, определяющим изменение свойств изделия, является тепловое воздействие, а не имплантация ионов. Показано, что измерение плотности энергии обеспечивает более корректную и полную информацию, не содержащую систематических погрешностей.
