В статті розглянуто структуру та принцип дії, характеристики мікромеханічних перетворювачів тиску, які побудовані за сучасними MEMS-технологіями. Проаналізовано математичну модель процесу перетворення з урахуванням сумарної похибки вимірювання тиску. Розглянуто складові сумарної похибки вимірювання та її математична модель. Надано опис та результати експериментального дослідження характеристик реального барометричного перетворювача тиску в стабільних умовах та в умовах впливу зміни температури зовнішнього середовища. Ключові слова: барометричні перетворювачі, MEMS-технологія, чутливий елемент, експериментальні дослідження, вплив температури.
