Исследовано влияние энергии образования нанокластера при действии ионов В+, N+, C+, V+, Cr, + Al+, O+, Ni+, Zr+, Mo+, Hf+, W+, Ta+ (одно-, двух- и трехзарядных) на объем нанокластера и глубины его залегания. Приведены зависимости объема нанокластера и глубин его залегания от энергии действующего одно-, двух- и трехзарядного иона. Показано, что необходимо затратить дополнительную энергию. Получены зависимости объема нанокластера и глубин его залегания от массы иона, причем при малых массах иона В+, N+, О+ исследованные величины смещаются в сторону больших энергий, тогда как для тяжелых ионов это смещение незначительно. Ключевые слова: ион, объем нанокластера, глубины залегания нанокластера, твердый сплав, заряд иона, энергия иона.