004 | Ш37 | Шевченко, І. В. Методи, моделі та інформаційні технології моніторингу і оптимізації процесу вирощування монокристалів напівпровідників [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.13.06 - інформ. технології / М-во освіти і науки України, Харк. нац. ун-т радіоелектроніки. — Х., 2015. — 39 с. |
| | |
|