Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Зайцев, С. В.
    Характеристики и применение полупроводниковых детекторов отраженных электронов в сканирующем электронном микроскопе [Текст] / С.В. Зайцев, С.Ю. Купреенко, Э.И. Рау, А.А. Татаринцев // Приборы и техника эксперимента  : научный журнал / РАН. — С. 51-59.

- Анотація:

Представлена конфигурация полупроводниковых детекторов отраженных электронов для сканирующего электронного микроскопа. Показано, что с помощью полупроводникового детектора при учете его функции отклика (аппаратной функции) можно проводить экспресс- оценки толщины ультратонких пленочных покрытий нанометровых размеров на массивной подложке.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електронні мікроскопи. Дифракційні камери
  • УДК // Кристалохімія



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт