Описана установка на основе к.м.о.п.- видеокамеры для ииследования деформации подвижных элементов микроэлектромеханических устройств размером от сотен микрон до единиц миллиметров в диапазоне температур от 103 до 423 К, а также при наличии внешних возмущающих факторов в виде приложенной нагрузки или электрических импульсов.
