Проведены исследование характеристик и оценка однородности нанесения резиста Ultra-i 123-0.35 методом ИК-спектральной эллипсометрии. Определены оптические константы резиста Ultra-i 123-0.35 в ИК-диапазоне длин волн от 2 до 33 мкм, а также зависимость толщины слоев резиста от скорости вращения центрифуги (от 2000 до 7000 об/мин). Неоднородность толщины резиста по поверхности всех образцов составила менее 2%, что свидетельствует о высоком качестве процесса нанесения. Полученная зависимость толщины резиста от скорости вращения центрифуги будет использоваться при выборе технологических режимов нанесения пленок резиста Ultra-i 123-0.35 в диапазоне толщин от 250 до 480 нм.

Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана.Сер. Приборостроение [Текст] : научно-теоретический и прикладной журнал. — 1998. — 4 : Специальный выпуск "Радиоэлектроника".

• УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
• УДК // Поляризація