|
Автор: Бестугин А.Р., Филонов О.М., Киршина И.А., Окин П.А., Андреева Е.В.
-
Анотація:
Рассмотрена структура алгоритма проведения операции параметрической коррекции (статического уравновешивания) микро-зеркал с торсионными подвесами для систем оптической связи. Исследована процедура нахождения области локализации неуравновешенной массы в объеме зеркала, методика расчета ее величины и технологическое обеспечение процесса ее экстрагирования сфокусированным ионным пучком.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
-
УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми
| 