|
Автор: Лузанов В.А., Веденеев А.С., Рыльков В.В., Темирязева М.П., Козлов А.М., Духновский М.П., Бугаев А.С.
-
Анотація:
Разработана методика получения тонких ( -1 нм) сплошных пленок тантала на поверхности изолирующих (сапфир) и проводящих (n-GaAs) подложек путем магнетронного напыления толстой (-10 нм) пленки с последующим травлением в плазме аргона до требуемой толщины. Определены условия осаждения пленок и скорость их травления. Показано, что получаемые пленки остаются сплошными вплоть до толщин -1 нм.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Одержання тонких плівок
-
УДК // Основні закони магнетизму
-
УДК // Физическая химия
| 