|
| 621.9 | | Б24 | Баранов, О. О.
Научные основы формирования распределения ионных потоков с заданными характеристиками в устройствах плазменно-ионной обработки поверхности [Текст] : дис. ... д-ра техн. наук : 05.03.07 - процессы физико - техн. обраб. : защищ. 22.04.16 / М-во образования и науки Украины, Нац. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т" ; науч. консультант Костюк Г. И. — Х., 2016. — 397 с. | |
| | |
|
