З використанням нелокальної теорії деформування неферомагнітних поляризовних твердих тіл вивчено закономірності поширення хвиль Релея в пружному півпросторі ідеального діелектрика. Для визначення швидкості цих хвиль отримано відповідне дисперсіцне рівняння. Вивчено вплив локального зміщення масси на характеристики поширення хвиль Релея в п'єзоелектричних тілах.